气体质量流量控制器通常用于测量小流量气体，究竟是一个什么样的东西？与其他气体流量计相比有什么不同？有什么特点？

1.质量流量与体积流量有什么区别？

许多研究和工业生产过程中，重要的变量是质量而非体积。由于温度或压力变化会对气体体积气体密度产生影响，体积流量测量到的大小就会随之改变，但是气体的整体质量不会随着温度或压力的变化而变化。

相同质量不同温度和压力的体积变化

与转子流量计（可变面积流量计）或涡轮流量计等体积流量测量装置不同，质量流量控制器不受入口流量的温度和压力波动影响。质量流量控制器可直接测量质量流量。大多数其他方法测量体积流量需要单独测量温度和压力，以计算密度，最终计算质量流量。

质量流量控制器在气体分子层面上测量流量，因而可提供高精准、高重复性和可靠的气体传输中。

2.热式质量流量控制器测量原理的优势

热式质量流量控制器测量原理

热式毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，此原理不需要温度压力进行补偿，通过传感器加热测得的信号送入信号放大器进行放大，设定的电压与放大后的流量检测电压进行相互比较，把两者的信号差值再进行二次放大后最终控制调节阀门，最终闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

热式气体质量流量控制器是目前测定小流量气体常用的仪表。自从20世纪70年代中期推行以来，仪表经历了相当大的发展，从模拟量到数字量，从小流量到大流量，从实验室应用到工业环境甚至危险区域应用。几乎所有小流量气体应用都有适合的热式气体质量流量控制器。用于小流量气体测量和应用的其他测量原理包括科里奥利流量测量控制和差压测量控制。

3.差压测量流量控制器

根据哈根泊肃叶定律可知，压差和气体的流量有线性关系，包括气体温度以及所用气体的密度和动态粘度。相比之下，热式质量流量控制器不易受到工艺中压力变化的影响，热式流量测量中本质上更准确。

层流差压原理